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净化工程、 净化车间、 无尘车间经济和科技发达的国家和地区都有自己的空气洁净标准和规范标准，都规定了有关的洁净度等级，例如美国、日本、西欧、北欧、俄罗斯等。我国于1984年颁布《洁净厂房设计规范》（GBJ73-84），1996年该规范进行了较大的修改，1990年颁布《洁净室施工及验收规范》（JGJ71-90）以指导施工和验收的重要文件。目前，该规范在重新修订中。
洁净度等级
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等级 |
每立方米（升）空气中》0.5μm尘粒数 |
每立方米（升）空气中》5μm尘粒数 |
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100 |
《35*100（<3.5> |
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|
1000 |
《35*1000（<35> |
《250（<0.25> |
|
10000 |
《35*10000（<350> |
《2500（<2.5> |
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100000 |
《35*100000（<3500> |
《25000（<25>
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